按透明度分类
透明石英玻璃:用水晶熔制而成,含极小气泡,透光性优异。
不透明石英玻璃:用纯石英砂熔制,呈半透明状,耐高温性能突出。
按纯度分类
高纯石英玻璃:金属杂质含量极低(如合成石英玻璃的杂质含量可控制在ppm级),适用于半导体、光学等高端领域。
普通石英玻璃:杂质含量较高,用于一般工业场景。
掺杂石英玻璃:通过添加特定元素(如硼、锗)改善性能,满足特殊需求。
制备工艺
电熔法:通过电加热熔化石英原料,设备简单、出品率高,但金属杂质含量较高。
气炼法:利用氢氧焰熔化石英原料,产品气泡少,但尺寸误差较大。
化学气相沉积法(CVD):通过气相反应沉积SiO₂微粒,可制备高纯度、大尺寸石英玻璃,但成本较高。
两步CVD法:先低温沉积SiO₂疏松体,再高温脱羟、烧结,可控制羟基含量,但工艺复杂。